一、核心參數(shù) 真空系統(tǒng) 真空室規(guī)格:內(nèi)徑Φ2350mm × 高度1400mm。 極限真空度:≤7.0×10?? Pa,排氣時間≤15分鐘(從大氣壓至2.0×10?³ Pa)。 基板架:直徑2200mm,5片式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu),轉(zhuǎn)速20rpm(部分型號支持10-30rpm調(diào)節(jié))。 鍍膜配置 蒸發(fā)源:1臺電子槍 + 1臺熱阻蒸鍍裝置。 射頻離子源:23寸規(guī)格(約584mm),增強膜層致密性與耐摩擦性(通過4萬次摩擦測試)。 膜厚監(jiān)控:6點式晶振傳感器,可選配HOM2光學(xué)膜厚控制系統(tǒng)。 設(shè)施需求 電源:三相200V,約80KVA功率。 水冷:流量≥220升/分鐘,空氣壓力0.5-0.7MPa35。 整機尺寸:約6300×9000×4000mm(寬×深×高),重量≈12000kg。 二、技術(shù)優(yōu)勢 鍍膜性能 磁密封驅(qū)動基板旋轉(zhuǎn)技術(shù),確保膜厚均勻分布。 RF離子源預(yù)處理基板,提升鍍膜附著力與耐摩擦性。 支持全自動蒸鍍流程,含XTC/3控制系統(tǒng)及在線阻針檢測。 穩(wěn)定性設(shè)計 配備深冷系統(tǒng)(POLYCOLD)與擴散泵組合,維持高真空環(huán)境。 護板組件減少污染,延長設(shè)備壽命。
三、應(yīng)用場景 主要鍍膜類型:防反射膜(AR)、防污膜(AS/AF)及其復(fù)合膜(AS+AR)。 典型應(yīng)用: 智能手機觸摸屏蓋板玻璃; 車載鏡片、光學(xué)濾光片及精密密封件; 藍寶石、硬質(zhì)合金表面功能鍍層。