日本昭和真空鍍膜機(jī)(23寸射頻源SGC-S1550i型)的核心配置與技術(shù)細(xì)節(jié)綜合說明:
真空系統(tǒng)
真空室:尺寸兼容Φ1550mm規(guī)格(不銹鋼材質(zhì)),工件架輻照面積≥Φ1150mm,極限真空≤7.0×10??Pa,搭配機(jī)械泵+羅茨泵+擴(kuò)散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD),15分鐘內(nèi)可抽至工作真空(大氣壓→5×10?³Pa)。
污染控制:特殊設(shè)計降低微塵污染,支持連續(xù)20批次IR截止濾光片鍍膜無需清掃校正.
鍍膜組件
射頻離子源:23寸高功率RF離子源,離子束聚焦精準(zhǔn),增強(qiáng)薄膜致密性與附著力,適用于樹脂基片至多層濾波片的高品質(zhì)鍍膜。
蒸發(fā)源:配置電子槍(PLASMATECH 10KW型號)或熱阻蒸裝置,支持AR/AF/HR膜及100層以上介質(zhì)膜制備。
監(jiān)控系統(tǒng)
膜厚控制:光纖式光學(xué)膜厚儀+80點恒溫監(jiān)控玻璃,結(jié)合晶控系統(tǒng)(如美國英???/span>SQM-160),實現(xiàn)納米級精度膜厚重復(fù)性。
自動化:全自動一鍵操作,參數(shù)記憶存儲功能,降低人工干預(yù)15。
穩(wěn)定性:抗污染技術(shù)與真空系統(tǒng)協(xié)同,保障批量連續(xù)生產(chǎn)(如20批次IR濾光片零維護(hù))。
精度控制:光纖監(jiān)控儀溫控設(shè)計,確保膜層特性高度穩(wěn)定,均勻性誤差≤±1%。
兼容性:適配玻璃、樹脂、金屬基材,覆蓋AR膜、AF膜、DBR膜(LED專用)等復(fù)雜膜系。
光學(xué)器件:IR截止濾光片、分色濾光片、高反射膜(HR膜)。
顯示與電子:手機(jī)蓋板AF膜、車載鏡頭鍍膜、觸摸屏防污膜(AS膜)。
特殊領(lǐng)域:LED多層光學(xué)DBR膜、光纖介質(zhì)膜。
2015-2017年產(chǎn)在產(chǎn)設(shè)備轉(zhuǎn)讓
服務(wù)支持:包安裝調(diào)試、工藝培訓(xùn)(如AF膜量產(chǎn)技術(shù))及3個月保修。
電源需求:三相200V/50-60Hz,功率80-120KVA212。
冷卻系統(tǒng):水流量≥220L/min,空氣壓力0.5-0.7MPa12。
設(shè)備尺寸:整機(jī)重約11-12噸,需凈化車間穿墻安裝