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日本昭和真空鍍膜機(23寸射頻源SGC-S1550i型)的核心配置與技術細節綜合說明:

一、核心配置與性能參數

真空系統

真空室:尺寸兼容Φ1550mm規格(不銹鋼材質),工件架輻照面積≥Φ1150mm,極限真空≤7.0×10??Pa,搭配機械泵+羅茨泵+擴散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD),15分鐘內可抽至工作真空(大氣壓→5×10?³Pa)。

污染控制:特殊設計降低微塵污染,支持連續20批次IR截止濾光片鍍膜無需清掃校正。

鍍膜組件

射頻離子源23寸高功率RF離子源,離子束聚焦精準,增強薄膜致密性與附著力,適用于樹脂基片至多層濾波片的高品質鍍膜。

蒸發源:配置電子槍(PLASMATECH 10KW型號)或熱阻蒸裝置,支持AR/AF/HR膜及100層以上介質膜制備。

監控系統

膜厚控制:光纖式光學膜厚儀+80點恒溫監控玻璃,結合晶控系統(如美國英福康SQM-160),實現納米級精度膜厚重復性。

自動化:全自動一鍵操作,參數記憶存儲功能,降低人工干預15

二、技術優勢

穩定性:抗污染技術與真空系統協同,保障批量連續生產(如20批次IR濾光片零維護)。

精度控制:光纖監控儀溫控設計,確保膜層特性高度穩定,均勻性誤差≤±1%

兼容性:適配玻璃、樹脂、金屬基材,覆蓋AR膜、AF膜、DBR膜(LED專用)等復雜膜系。

三、應用場景

光學器件IR截止濾光片、分色濾光片、高反射膜(HR膜)。

顯示與電子:手機蓋板AF膜、車載鏡頭鍍膜、觸摸屏防污膜(AS膜)。

特殊領域LED多層光學DBR膜、光纖介質膜。

四、設備狀態與服務

‌2015-2017年產在產設備轉讓

服務支持:包安裝調試、工藝培訓(如AF膜量產技術)及3個月保修。

五、能耗與物理參數

電源需求:三相200V/50-60Hz,功率80-120KVA212

冷卻系統:水流量≥220L/min,空氣壓力0.5-0.7MPa12

設備尺寸‌:整機重約11-12噸,需凈化車間穿墻安裝

 

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