日本光馳Gener1300真空鍍膜機(jī)技術(shù)參數(shù)
真空系統(tǒng) 真空室材質(zhì):SUS304不銹鋼,尺寸為Ф1300mm×1500mm(H) 極限真空度:7.0×10?? Pa以下,抽氣時間10分鐘(大氣壓至3.0×10?³Pa) 排氣配置:機(jī)械泵+擴(kuò)散泵組合,可選配Polycold低溫冷凝器
鍍膜核心組件 基板架:4片式工作架(或Ф1200mm單架),轉(zhuǎn)速0-30rpm可調(diào) 蒸發(fā)源:1臺電子槍,支持高熔點材料鍍膜
膜厚控制:晶振式膜厚計(XTC/3+6點式水晶傳感器),光學(xué)監(jiān)控波長范圍350-1100nm 工藝性能
基板加熱溫度:最高350℃,控溫精度±1℃ 鍍膜均勻性:行星式工件架設(shè)計,邊緣膜厚差異≤3%
膜層控制精度:±0.5nm(光學(xué)監(jiān)控+石英晶體補(bǔ)償) 設(shè)備配置與擴(kuò)展性 可選模塊: 高精度光控儀(多層AR鍍膜專用) 離子源(17cm RF離子源,提升膜層致密度) 雙電子槍系統(tǒng)(支持復(fù)雜膜系,如紅外截止濾光片)
安裝要求: 空間需求:約4500mm(W)×6000mm(D)×3200mm(H)
電力:3相200V/50-60Hz,80-104KVA 冷卻水:100-140升/分鐘,壓力0.5MPa 應(yīng)用場景與維護(hù)
典型應(yīng)用:減反射膜、紅外濾光片、光學(xué)分色膜等 維護(hù)要點: 每500小時更換機(jī)械泵油,2000小時檢測分子泵狀態(tài) 定期清潔真空室及密封圈,防止粉塵污染