日本光馳OTFC-1300高精度光學(xué)真空鍍膜機(jī)
主要用于紅外截止濾光片、分色濾光片等光學(xué)薄膜的制備,廣泛應(yīng)用于電子、汽車、光學(xué)儀器等領(lǐng)域 。 核心參數(shù) 真空系統(tǒng) 真空室尺寸:Φ1300mm×1610mm(H),材質(zhì)為SUS304不銹鋼 。 排氣系統(tǒng):機(jī)械泵+2個(gè)擴(kuò)散泵+Polycold(或冷凝泵),極限真空度達(dá)7.0×10?? Pa 。 排氣時(shí)間:15分鐘(大氣壓至1.3×10?³ Pa) 。
鍍膜能力 電子槍配置:雙電子槍(JEOL 180°設(shè)計(jì)),支持30點(diǎn)穴位坩堝+環(huán)形坩堝,可鍍100層以上薄膜 。 離子源:17cm RF離子源,離子電流密度均勻分布 。
膜厚控制:HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀(350-1100nm波長(zhǎng)范圍),6點(diǎn)晶控探頭 。 工件架與運(yùn)動(dòng) 工件架直徑:φ1130mm,轉(zhuǎn)速10-50rpm(可調(diào)) 。
基板溫度:最高350℃ 。
設(shè)備特點(diǎn) 自動(dòng)化控制:全自動(dòng)蒸鍍過程,支持60/80點(diǎn)式光學(xué)膜厚監(jiān)控 。
高穩(wěn)定性:采用日本ULUAC冷泵和雙級(jí)冷頭,確保工藝穩(wěn)定性 。 維護(hù)便捷:需定期清潔離子源、更換密封圈及過濾器,以延長(zhǎng)設(shè)備壽命