用于制取磷酸二苯-異辛酯、磷酸三乙酯等磷酸酯,塑料增塑劑,有機磷農藥,長效磺胺等。
還可用作染料中間體,有機合成的氯化劑和催化劑,阻燃劑。
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電子級三氯氧磷的用途在太陽能行業,集成電路,分離器件,光線預制棒等液態磷源也可制備磷酸酯。在半導體行業主要用于N型摻雜源,在0℃反應效果
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