• 品牌/廠家：
• 日本光馳
• 產(chǎn)品型號：
• otfc-1550
• 產(chǎn)品尺寸：
• 1550
• 產(chǎn)品重量：
• 11000
• 產(chǎn)品樣式：
• 立式
• 螺桿數(shù)量：
• 雙螺桿
• 新舊程度：
• 9成新
• 產(chǎn)品電壓：
• 200
• 電動機(jī)功率：
• 50
• 產(chǎn)品用途：
• 紅外截止濾光片、分色濾光片、AR/IR復(fù)合膜 工業(yè)鍍層：高反射鏡、太陽能電池減反膜、精密光學(xué)元件
• 加工定制：
• 可定制
• 服務(wù)區(qū)域：
• 全國,浙江,廣東,江蘇,福建,安徽,河南,河北,湖北,湖南,四川,江西,山東,海南,黑龍江,北京,上海

設(shè)備基礎(chǔ)架構(gòu)

真空系統(tǒng) 復(fù)合排氣配置：機(jī)械泵+2×擴(kuò)散泵+Polycold（或雙冷凝泵設(shè)備基礎(chǔ)架構(gòu) 真空系統(tǒng)

復(fù)合排氣配置：機(jī)械泵+2×擴(kuò)散泵+Polycold（或雙冷凝泵） 極限真空：7.0×10?? Pa（抽氣時間15分鐘至1.3×10?³ Pa）

真空室材質(zhì)：SUS304不銹鋼（Φ1550mm×1800mm） 鍍膜核心組件 雙電子槍系統(tǒng)：支持環(huán)形/多點坩堝，實現(xiàn)100+層鍍膜 離子源：17cm RF離子源，離子電流密度均勻分布

工件架：Φ1400mm鐘罩式/行星式可選（10-30rpm無級調(diào)速） 智能控制與監(jiān)測

膜厚監(jiān)控： 光學(xué)監(jiān)控：HOM2-R-VIS350A（350-1100nm反射/透射雙模式） 石英晶振：XTC/3+6點式傳感器

自動化系統(tǒng)：全自動蒸鍍控制程序，支持工藝參數(shù)實時優(yōu)化 性能參數(shù) 類別 指標(biāo) 基板溫度 ≤350℃ 設(shè)備尺寸 5.5m(W)×7.2m(D)×3.7m(H) 電力需求 3相200V/50-60Hz/120KVA 冷卻系統(tǒng) 水冷≥180L/min，氣源≥0.5MPa 典型應(yīng)用

光學(xué)薄膜：紅外截止濾光片、分色濾光片、AR/IR復(fù)合膜 工業(yè)鍍層：高反射鏡、太陽能電池減反膜、精密光學(xué)元件）

極限真空：7.0×10?? Pa（抽氣時間15分鐘至1.3×10?³ Pa）

真空室材質(zhì)：SUS304不銹鋼（Φ1550mm×1800mm） 鍍膜核心組件 雙電子槍系統(tǒng)：支持環(huán)形/多點坩堝，實現(xiàn)100+層鍍膜

離子源：17cm RF離子源，離子電流密度均勻分布 工件架：Φ1400mm鐘罩式/行星式可選（10-30rpm無級調(diào)速） 智能控制與監(jiān)測

膜厚監(jiān)控： 光學(xué)監(jiān)控：HOM2-R-VIS350A（350-1100nm反射/透射雙模式） 石英晶振：XTC/3+6點式傳感器

自動化系統(tǒng)：全自動蒸鍍控制程序，支持工藝參數(shù)實時優(yōu)化 性能參數(shù) 類別 指標(biāo) 基板溫度 ≤350℃ 設(shè)備尺寸 5.5m(W)×7.2m(D)×3.7m(H) 電力需求 3相200V/50-60Hz/120KVA 冷卻系統(tǒng) 水冷≥180L/min，氣源≥0.5MPa 典型應(yīng)用

光學(xué)薄膜： 工業(yè)鍍層：高反射鏡、太陽能電池減反膜、精密光學(xué)元件